詳細(xì)信息
一、機(jī)器用途
KJ-04/06型鏡片擴(kuò)張機(jī)被廣泛應(yīng)用與發(fā)光二極管，中小型功率三極管，集成電路和一些特殊半導(dǎo)體器件生產(chǎn)企業(yè)內(nèi)的晶粒擴(kuò)張工序。
二、機(jī)器特點(diǎn)：
①采用雙氣缸上下控制；
②恒溫設(shè)計(jì)，膜片周邊擴(kuò)張均勻適度；
③加熱，拉伸，擴(kuò)晶，固膜一次完成；
④加熱溫度，擴(kuò)張時間，回程速度均勻可調(diào)；
⑤操作簡便，單班產(chǎn)量大；
⑥機(jī)器外型見實(shí)物。
三、技術(shù)參數(shù)：
1、電源電壓：220VAC（50Hz)士10%
2、工作氣壓：4Kg/cm2
3、溫度范圍：室溫~150℃
4、上氣缸行程：200mm
5、下氣缸行程：100mm（可雙向調(diào)節(jié)）
6、擴(kuò)張面積：120/270cm2
7、外型尺寸：270x220x820mm(長x寬x高）
8、機(jī)器重量：20Kg
四、操作步驟：
1、插上電源，氣管快速接頭接上高壓氣管；
2、打開電源開關(guān)，將溫度設(shè)定于75℃（不同晶片膜溫差異士5℃）；
3、將上氣缸開關(guān)撥至“上升”位置，上壓?；刂磷钌戏?，將下氣缸開關(guān)撥至下降位置，下壓?；刂磷钕路剑ǚ磸?fù)幾次下氣缸動作，將上升速度調(diào)整至適合速度）
4、松開鎖扣，掀起上工件板，先將擴(kuò)晶環(huán)內(nèi)環(huán)放于下壓模上，再將粘有晶片的翻晶膜放于下工件正中央，晶片朝上，將上工件板蓋上，鎖緊鎖扣。
5、將下氣缸開關(guān)撥至“上升”位置，下壓模徐徐上升，薄膜開始向四周擴(kuò)散，晶粒間隔逐漸拉大，當(dāng)晶片間隔擴(kuò)散至原來的2~3倍時既停止上升，將擴(kuò)晶環(huán)外環(huán)圓角朝下平放在薄膜與內(nèi)環(huán)正上方。
6、將上氣缸開關(guān)撥至“下降”位置，上壓模下降，將擴(kuò)散后的翻晶膜套緊定位，上壓?；刂磷钌戏?。
7、將下氣缸開關(guān)撥至“下降”位置，下壓模下降至最下方，取出擴(kuò)晶完畢的翻晶膜，修剪多余膜面，送下工序備膠固晶。
五、維護(hù)保養(yǎng)：
1、用干凈布塊擦拭附著灰塵，活動部位定期涂少許機(jī)油潤滑；
2、放置翻晶膜的位置必須干凈，附著的油脂及灰塵會污染晶片，造成不良品產(chǎn)生。
六、注意事項(xiàng)：
1、氣缸工作時切勿將手接近或放入壓合面；
2、下壓模表面切勿用銳器敲擊，磨擦，以免形成傷痕；
3、機(jī)器安裝時，應(yīng)正確可靠接地；
4、機(jī)箱內(nèi)電源危險，箱門應(yīng)鎖緊；
5、更換加熱管或其它電器元件時，需在電源插頭拔下時方可進(jìn)行；
6、切勿用帶水或溶劑的抹布擦拭機(jī)器，以免產(chǎn)生漏電或燃燒危險！