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單片微波集成電路(MMIC),有時也稱射頻集成電路,它是隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展,特別是離子摻入控制水平的提高和晶體管自我排列工藝的成熟而出現(xiàn)的一類高頻放大器件。在這類器件中,作為反饋和直流偏置元件的各個電阻器都采用具有高頻特性的薄膜電阻,并且與各有源器件一起封裝在一個芯片上,這使得各零件之間幾乎無連線,從而使電路的感抗降至最低,且分布電容也極小,因而可用在工作頻率和頻寬都很高的放大器中。目前的工作頻率已可做到40GHz,頻寬也已達到15GHz,因而可廣泛應(yīng)用于通信和GPS等各類設(shè)備的射頻、中頻和本振電路中。根據(jù)制作材料和內(nèi)部電路結(jié)構(gòu)的不同,MMIC可以分成兩大類:一類是基于硅晶體管的MMIC,另一類是基于砷化鎵場效應(yīng)管的MMIC,場效應(yīng)管的MMIC具有工作頻率高、頻率范圍寬、動態(tài)范大、噪聲低的特點。