詳細(xì)信息
氣體質(zhì)量流量計
CMS9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500高可靠性氣體質(zhì)量
流量計，使用了山武公司新近開發(fā)的微流量傳感器，這種傳感器
是感熱式流量傳感單元。
超小型結(jié)構(gòu)、高精度傳感器、高密度集成電路設(shè)計技術(shù)的結(jié)合使
這種儀表具有精度高、測量范圍大，且成本低的優(yōu)點。
CMS9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500
型號
CMS9500 CMS0002 CMS0005 CMS0020 CMS0050 CMS0200 CMS0500
項目
適用氣體樹脂型：
空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳(CO2)
SUS/SUS316型:
空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳(CO2)、
氧氣、城市煤氣13A(LNG)、甲烷100%、
丙烷100%、丁烷100%
SUS/SUS316型：
空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳(CO2)、
氧氣、城市煤氣13A(LNG)、甲烷100%、
丙烷100%、丁烷100%
氣體必須不含腐蝕性氣體（例：氯、硫、酸等）。氣體必須干燥、清潔，不含粉塵和油霧
流量范圍（注1）
0～500mL/min(標(biāo)狀) 0～2L/min(標(biāo)狀) 0～5L/min(標(biāo)狀) 0～20L/min(標(biāo)狀) 0～50L/min(標(biāo)狀) 0～200L/min(標(biāo)狀) 0～500L/min(標(biāo)狀)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)指：一個大氣壓、20℃時
各種氣體
空氣/氮氣500mL/min 2L/min 5L/min 20L/min 50L/min 200L/min 500L/min
測量上限
氧氣500mL/min 2L/min 5L/min 20L/min 50L/min 200L/min 500L/min
氬氣500mL/min 2L/min 5L/min 20L/min 50L/min 200L/min 500L/min
（1atm，20℃時） 二氧化碳250mL/min 1L/min 3.3L/min 10L/min 25L/min 100L/min 250L/min
城市煤氣13A (注3) 400mL/min 1.5L/min 4.5L/min 15L/min 40L/min 150L/min 400L/min
甲烷500mL/min 2L/min 5L/min 20L/min 50L/min 200L/min 500L/min
丙烷140mL/min 0.5L/min 1.7L/min 5L/min 14L/min 50L/min 140L/min
丁烷100mL/min 0.4L/min 1.25L/min 5L/min 12L/min 50L/min 120L/min
測量精度
樹脂型： 樹脂型：
(20℃，1atm時）
0.2 x＜4L/min 0.5 x＜5L/min
SUS/SUS316型: SUS/SUS316型: SUS/SUS316型:
±1%FS±1位±1%FS±1位
SUS/SUS316型: SUS/SUS316型：
5 x＜100mL/min 0.02 x＜0.4L/min 0.05 x＜1L/min
4 x 20L/min 5 x 50L/min
2 x＜20L/min 5 x＜50L/min
±1%FS±1位 ±1%FS±1位 ±1%FS±1位
±5%RD±1位±5%RD±1位
±1%FS±1位±1%FS±1位
100 x 500mL/min 0.4 x 2L/min 1 x 5L/min
SUS/SUS316型： SUS/SUS316型：
20 x 200L/min 50 x 500L/min
±3%RD±1位 ±3%RD±1位
0.2 x＜2L/min 0.5 x＜5L/min
±3%RD±1位±3%RD±1位
±1%FS±1位±1%FS±1位
2 x 20L/min 5 x 50L/min
±3%RD±1位 ±3%RD±1位
最小顯示值1mL/min 0.01L/min 0.1L/min 1L/min
顯示分辨率1mL/min 0.01L/min 0.1L/min 1L/min
操作溫度0～50℃(樹脂型：保證精度溫度范圍10～35℃）
存儲溫度-20～70℃
操作濕度10～90%RH(無結(jié)露)
接管尺寸樹脂型和SUS型:Rc1/4 SUS型: Rc1/2
SUS316型:9/16-18UNF，Rc1/4，1/4外套螺母，1/4VCR（依型號）
SUS316型: 3/4-16UNF, Rc1/2, 1/2外套螺母,
3/8VCR (依型號)
本體材質(zhì)
SUS型：SUS303和SUS316
樹脂型: PBT (聚丁烯酯)
SUS316型：SUS316
SUS型: SUS303和SUS316
SUS316型: SUS316
機殼材料
SUS/SUS316型：聚碳酸脂
樹脂型：ABS
操作壓力
SUS/SUS316型：-0.07～＋1.0MPa
耐壓
SUS/SUS316型：1.5MPa
安裝位置水平安裝。流向：左→右
供電電壓12～24VDC
采樣周期
100ms±10ms
樹脂型: 100ms±20ms
100ms±10ms
SUS/SUS316 型: 100ms±10ms
輸出信號（瞬時流量輸出） 0～5VDC（允許負(fù)載阻抗大于10KΩ）
當(dāng)輸出超過測量上限時最大輸出5.7V。
事件輸出集電極開路輸出：2點
事件功能瞬時流量上／下限、累計流量到設(shè)定值、反向流量切除、累計脈沖輸出（僅事件2），流量信號串行輸出（僅事件1）
外部接點輸入用于累計流量復(fù)位：1點（無電壓接點輸入）
電氣連接通過專用連接器（另購）
顯示4位7段LED顯示，瞬時流量/累計流量切換顯示
重量SUS/SUS316型：約 800g 樹脂型：約280g SUS/SUS316型：
SUS/SUS316型：約 800g 約 1400g
SUS/SUS316型:
空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳(CO2)、
城市煤氣13A(LNG)、甲烷100%、丙烷100%、
丁烷100%
（注2）
±3%RD±1位
·使用說明書資料號：CP-SP-1114E
注(1)：流量范圍以空氣流量標(biāo)定。該產(chǎn)品具有切換氣體種類的功能，用戶可通過按鍵選擇被測氣體種類，該儀表輸出信號(0～5V)的標(biāo)尺也可改變。
注(2)：在表中沒有列出的氣體種類有些也可測量，通過改變氣體的導(dǎo)熱系數(shù)（CF）實現(xiàn)，詳細(xì)信息請向山武公司詢問。
注(3)：城市煤氣13A（LNG）的成分為含甲烷（CH4）88%，如果天然氣成分與13A不同，請向山武公司詢問。
SUS/SUS316型：聚碳酸脂
樹脂型：0～0.5MPa
SUS/SUS316型：-0.07～＋1.0MPa
樹脂型：0.7MPa
SUS/SUS316型：1.5MPa
SUS/SUS316型：1.5MPa
SUS/SUS316型：聚碳酸脂
SUS/SUS316型：-0.07～＋1.0MPa
SUS型：SUS303和SUS316
SUS316型：SUS316
約 2000g
SUS/SUS316型：
TOKYO JAPAN
37 91
69.1
32
17
(48.7)
9/16-18UNF 連接型 (標(biāo)準(zhǔn))
91
69.1
32
MADE IN JAPAN
Rc1/4 連接型 (可選)
23.5 23.5
(138)
HEX21
MADE IN JAPAN
(142.4)
(25.7) (25.7)
HEX9/16
1/4外套螺母連接型（可選）
MADE IN JAPAN
(138.8)
(23.9) (23.9)
1/4VCR 連接型 (可選)
MADE IN JAPAN
37
17
(48.7)
TOKYO JAPAN
50 98.6
82
45
23
3/4-16UNF 連接型 (標(biāo)準(zhǔn))
98.6
82.1
Rc1/2 連接型 (可選)
25 25
(148.6)
HEX26
MADE IN JAPAN
MADE IN JAPAN
(160)
(30.7) (30.7)
HEX7/8
1/2外套螺母連接型（可選）
MADE IN JAPAN
(62)
50
23.2
45
(161.6)
(31.5) (31.5)
3/8VCR 連接型 (可選)
MADE IN JAPAN
29.5
59
(76)
60
98.6
16.4 16.4
96.1
(25) (25)
(31.5) (31.5)