詳細信息
益處
- 設計緊湊，節(jié)省寶貴的工具空間
- 易于集成，EtherCAT，各種滿刻度和法蘭，標配兩個設定點
- 輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移
- 診斷端口用于快速維修和維護
- 兩年保修服務，先進的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
- 卓越的信號穩(wěn)定性和可重復性，即使是最苛刻的等離子應用，都無需長期執(zhí)行重新校準
- 合規(guī)性與標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應用
- 用于 CVD、刻蝕、PVD 和其他半導體制造過程
規(guī)格
類型 1000 Torr, 1100 mbar 500 ... 1 Torr / mbar