詳細(xì)信息
該設(shè)備利用頻率為2.45GHz的微波激勵(lì)稀薄氣體放電，從而產(chǎn)生等離子體。真空反應(yīng)室為Φ50mm的石英管腔體。放置樣品的基片臺(tái)可以方便地在反應(yīng)腔體內(nèi)上下升降調(diào)節(jié)。
基片臺(tái)位于石英管反應(yīng)腔體的中心，該基片臺(tái)除了基本的上下升降功能外，同時(shí)具有水冷控溫的功能，雙層水冷支架與基片臺(tái)可方便地拆卸與維護(hù)，即使樣品以不同的形態(tài)（片狀、塊狀、粉末狀等）出現(xiàn)，更換或改裝基片臺(tái)也十分方便。
石英管反應(yīng)腔兩端有雙層水冷套作降溫保護(hù)，端口以不銹鋼部件固定并密封（加橡膠）石英腔體，以確保反應(yīng)腔的安全穩(wěn)定工作。
該設(shè)備的真空系統(tǒng)采用2XZ-2型旋片真空泵，極限真空6×10－1帕，抽速2升/秒，額定轉(zhuǎn)速1400轉(zhuǎn)/分，機(jī)械泵與真空室之間設(shè)置有電磁閥和高真空隔膜閥，旁路管道設(shè)置另一隔斷閥（高真空微調(diào)閥），以便于真空系統(tǒng)運(yùn)行安全及工作時(shí)反應(yīng)氣體壓強(qiáng)的靈活控制。真空密封采用金屬和橡膠密封，通常：相對(duì)不動(dòng)接口采用金屬銅密封，相對(duì)可動(dòng)接口采用橡膠密封。
真空測(cè)量采用數(shù)字壓阻式真空計(jì)，用來(lái)測(cè)量反應(yīng)腔內(nèi)的工作氣壓
典型應(yīng)用：
1.等離子體化學(xué)氣相沉積。A（氣）+B（氣）→C（固）+D（氣）。反應(yīng)氣體A、B被激發(fā)為等離子狀態(tài)，其活性基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)生成所需要的固態(tài)物沉積在基片上，可廣泛用于薄膜或納米材料的合成。如金剛石薄膜、碳納米材料等。
2.等離子體表面刻蝕。A（氣）+B（固）→C（氣）。反應(yīng)氣體A被激發(fā)為等離子體狀態(tài)與固體B表面原子發(fā)生反應(yīng)生成氣態(tài)物C，可用于集成電路的刻蝕實(shí)驗(yàn)。
3.等離子體催化反應(yīng)。等離子體中具有豐富的活性成分，如紫外和可見(jiàn)光子、電子、離子、自由基，高反應(yīng)性的中性成分如活性原子、受激原子態(tài)，從而可以引發(fā)在常規(guī)化學(xué)中不能或很難實(shí)現(xiàn)的化學(xué)反應(yīng)。
4.等離子體表面改性。A（氣）+B（固）→C（固）。反應(yīng)氣體A被激發(fā)為等離子體狀態(tài)，與固體B表面發(fā)生反應(yīng)，生成新的化合物，從而達(dá)到改變B物質(zhì)表面性質(zhì)的目的。廣泛用于高分子材料、金屬材料、生物醫(yī)用材料的表面改性
主要配置：
真空泵：旋片真空泵采用單相220V交流電源，對(duì)實(shí)驗(yàn)室電源無(wú)特殊要求。
磁控管：采用工業(yè)上通用的磁控管，該磁控管具有使用壽命長(zhǎng)、可靠性高的特點(diǎn)，維護(hù)方便。
真空計(jì)：采用壓阻式真空計(jì)，用于測(cè)量工作時(shí)的工作氣壓。
溫控儀：用于冷卻水循環(huán)系統(tǒng)中的制冷及水溫控制。
500W微波功率源：通過(guò)調(diào)節(jié)磁控管陽(yáng)極電壓的方法調(diào)節(jié)微波功率的輸出，利用簡(jiǎn)單、可靠、易維護(hù)的電路實(shí)現(xiàn)微波功率的連續(xù)可調(diào)輸出。
冷卻水：裝置自帶循環(huán)冷卻水，對(duì)實(shí)驗(yàn)室無(wú)水源要求，既節(jié)水又方便。
基本參數(shù)：
反應(yīng)室工作壓強(qiáng)：幾百帕～十千帕
反應(yīng)室極限壓強(qiáng): 6×10－1帕
反應(yīng)室尺寸： Φ50mm
微波功率： 0～500W
基片溫控： 200～1000℃
安裝環(huán)境：
供電： AC220V，50Hz,最大功率2000W
溫度、濕度、氣源及冷卻水：應(yīng)保障設(shè)備工作穩(wěn)定正常
安裝室：室內(nèi)整潔，空氣流通，無(wú)塵埃。
接地線：室內(nèi)具有獨(dú)立接地線＜3Ω
安裝步驟：
確認(rèn)安裝環(huán)境
檢查設(shè)備良好情況（運(yùn)輸過(guò)程中是否造成損壞）
安裝真空泵、抽氣管道、隔斷閥及其它配件
連接電氣柜至主機(jī)各電纜線
確認(rèn)各電氣部件完好無(wú)損
升降雙層水冷支架，確認(rèn)石英管、基片臺(tái)及其它部件完好無(wú)損
連接并啟動(dòng)確認(rèn)循環(huán)控制冷卻水完好
連接好設(shè)備地線