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(1)《射頻微機(jī)電系統(tǒng)的理論、設(shè)計(jì)、制備及應(yīng)用》正版圖書
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(1)《射頻微機(jī)電系統(tǒng)的理論、設(shè)計(jì)、制備及應(yīng)用》正版圖書
射頻微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)是微機(jī)電系統(tǒng)的重要組成部分,本書主要從理論、設(shè)計(jì)、加工、封裝和應(yīng)用等方面介紹射頻微機(jī)電系統(tǒng)器件與系統(tǒng),結(jié)合作者及其團(tuán)隊(duì)近年來在相關(guān)領(lǐng)域的研究成果,詳細(xì)分析和闡述傳輸線、天線、可調(diào)電感、可變電容、開關(guān)、濾波器、移相器等核心器件的基本原理、主要類型、設(shè)計(jì)方法、加工技術(shù)、性能測(cè)試和典型應(yīng)用等,為讀者勾勒出射頻微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)較為全面的技術(shù)基礎(chǔ)、研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)。
《微納制造的基礎(chǔ)研究學(xué)術(shù)著作叢書》序
前言
第一章 RF MEMS
1.1 MEMS概述
1.2 RF MEMS簡(jiǎn)介
1.3 RF MEMS發(fā)展歷史
1.4 RF MEMS常用工藝
1.4.1 體硅工藝
1.4.2 表面硅工藝
1.5 RF MEMS應(yīng)用
1.5.1 在可重構(gòu)電路中的應(yīng)用
1.5.2 在手提式無線系統(tǒng)中的應(yīng)用
1.5.3 在基站中的應(yīng)用
1.5.4 在無線能量傳輸中的應(yīng)用
參考文獻(xiàn)
第二章 RF MEMS設(shè)計(jì)與仿真
2.1 ANSYS
2.1.1 主要功能
2.1.2 分析實(shí)例:平行板電容
2.2 CoventorWare
2.2.1 主要功能
2.2.2 分析實(shí)例:可調(diào)電容
2.3 IntelliSuite
2.3.1 主要功能
2.3.2 分析實(shí)例:RF開關(guān)
2.4 HFSS
2.4.1 主要功能
2.4.2 分析實(shí)例:矩形波導(dǎo)腔體天線
2.5 CSTMicrowave Studio
2.5.1 主要功能
……
第三章 RF MEMS傳輸線
第四章 RF MEMS電感
第五章 RF MEMS可變電容
第六章 RF MEMS開關(guān)
第七章 RF MEMS濾波器
第八章 RF MEMS移相器
第九章 RF MEMS天線
第十章 RF MEMS封裝
索引
(2)《各種射頻微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)內(nèi)部資料匯編》正版光盤(1張),有2000多頁內(nèi)容,獨(dú)家資料
1 一種單芯片微機(jī)電系統(tǒng)及其制備方法
2 一種微機(jī)電系統(tǒng)及其制備方法
3 微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)構(gòu)件和具有所述微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)構(gòu)件的設(shè)備
4 微機(jī)電系統(tǒng)用可動(dòng)質(zhì)量塊的制造方法
5 用于釋放微機(jī)電系統(tǒng)裝置中的隔膜的方法
6 一種微機(jī)電陀螺系統(tǒng)
7 用于機(jī)車制動(dòng)系統(tǒng)的微機(jī)控制電空制動(dòng)單元
8 供在微機(jī)電及其它系統(tǒng)中使用的開關(guān)及其制造工藝
9 具有微機(jī)電系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)傳感器的移動(dòng)設(shè)備硬件姿態(tài)檢測(cè)實(shí)現(xiàn)
10 保護(hù)微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)聲音端口及其在晶片級(jí)形成的方法
11 專用集成電路(ASIC)上的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)
12 一種微機(jī)繼電保護(hù)的通信系統(tǒng)裝置
13 微機(jī)電器件、微機(jī)電麥克風(fēng)和電子系統(tǒng)
14 微機(jī)電陀螺系統(tǒng)及其控制方法
15 微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)芯片封裝體
16 一種基于微機(jī)電系統(tǒng)的光傳感裝置和光傳感方法
17 微機(jī)電系統(tǒng)元件制造方法及以此方法制造的微機(jī)電系統(tǒng)元件
18 多級(jí)靈敏度輸出的微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)裝置以及其電路
19 一種減少微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)制作過程中產(chǎn)生的粘黏的方法
20 微機(jī)電系統(tǒng)的可動(dòng)載具結(jié)構(gòu)
21 一種全硅結(jié)構(gòu)的微機(jī)電系統(tǒng)真空傳感器
22 一種輸電線路的微機(jī)繼電保護(hù)系統(tǒng)
23 微機(jī)電系統(tǒng)器件
24 一種微機(jī)電系統(tǒng)復(fù)合犧牲層的處理方法
25 一種高壓繼電保護(hù)微機(jī)系統(tǒng)電磁抗干擾通信端口
26 通過形成碳化硅層來減小微機(jī)電系統(tǒng)的粘滯
27 靜電驅(qū)動(dòng)微機(jī)電系統(tǒng)二維掃描微鏡
28 基于優(yōu)化盒維數(shù)圖像匹配的微機(jī)電系統(tǒng)面內(nèi)位移測(cè)量方法
29 靜電驅(qū)動(dòng)微機(jī)電系統(tǒng)二維掃描微鏡
30 梯度微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)
31 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)多軸陀螺儀Z軸電極結(jié)構(gòu)
32 一種基于微機(jī)電加速度芯片的無線索力測(cè)試系統(tǒng)
33 微機(jī)電系統(tǒng)諧振傳感器及其控制方法
34 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)結(jié)構(gòu)及設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)
35 微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)封裝及封裝方法
36 具有中心懸吊件和環(huán)架結(jié)構(gòu)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)多軸陀螺儀
37 微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)
38 用于補(bǔ)償抖動(dòng)的微機(jī)電系統(tǒng)裝置和設(shè)備
39 用于微機(jī)電系統(tǒng)器件的有源側(cè)向力粘滯自恢復(fù)
40 基于微機(jī)電系統(tǒng)傳感器的室內(nèi)路徑測(cè)量方法與裝置
41 微機(jī)繼電保護(hù)測(cè)試系統(tǒng)
42 射頻微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的電容式開關(guān)
43 微機(jī)電系統(tǒng)鏡片及微機(jī)電系統(tǒng)反射裝置
44 微機(jī)電系統(tǒng)與集成電路的集成芯片及其制造方法
45 微機(jī)電系統(tǒng)芯片尺寸封裝
46 微機(jī)電系統(tǒng)及檢測(cè)電路
47 微機(jī)電系統(tǒng)器件在制造過程中的加固方法
48 一種體硅微機(jī)電系統(tǒng)MEMS結(jié)構(gòu)繼續(xù)正面工藝的方法
49 多振膜微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)結(jié)構(gòu)
50 微機(jī)電系統(tǒng)開關(guān)
51 頂部端口微機(jī)電系統(tǒng)腔體封裝
52 用于電子設(shè)備封裝的蓋件、包封的微機(jī)電設(shè)備和電子系統(tǒng)
53 一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的硅電容真空傳感器
54 微機(jī)電系統(tǒng)傳感器及其制造方法
55 一種基于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的硅電容真空傳感器
56 一種微通道散熱器及由其組成的微機(jī)電產(chǎn)品散熱系統(tǒng)裝置
57 具有抗裂膜結(jié)構(gòu)的微機(jī)電系統(tǒng)器件及其制造方法
58 雙層微機(jī)電系統(tǒng)器件及其制造方法
59 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)以及相關(guān)的致動(dòng)器凸塊、制造方法和設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)
60 通風(fēng)微機(jī)電系統(tǒng)裝置和制造方法
61 基于改進(jìn)微分進(jìn)化算法的微機(jī)電系統(tǒng)組件的布局優(yōu)化方法
62 微機(jī)電系統(tǒng)元件、電子裝置、高度計(jì)、電子設(shè)備及移動(dòng)體
63 微機(jī)電系統(tǒng)元件、電子裝置、高度計(jì)、電子設(shè)備及移動(dòng)體
64 平面磨床的微機(jī)電液比例調(diào)速系統(tǒng)
65 用于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)設(shè)備的彈簧
66 微機(jī)電系統(tǒng)器件的制造方法
67 微機(jī)電設(shè)備和電子系統(tǒng)
68 微機(jī)電系統(tǒng)晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)
69 一種具有真空腔的微機(jī)電系統(tǒng)露點(diǎn)傳感器及其制造方法
70 一種基于微機(jī)電系統(tǒng)的微干涉平臺(tái)
71 基于光纖-微機(jī)電傳感器的輸電線路在線參數(shù)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
72 微機(jī)電陀螺系統(tǒng)及微機(jī)電陀螺控制系統(tǒng)
73 微機(jī)電系統(tǒng)及檢測(cè)電路
74 一種微機(jī)電系統(tǒng)封裝方法
75 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)及相關(guān)致動(dòng)器凸塊、制造方法和設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)
76 帶CT掃描成像系統(tǒng)的微機(jī)控制電液伺服多場(chǎng)耦合巖石三軸試驗(yàn)機(jī)
77 液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)磁性部件
78 液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)電容器
79 液態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)部件及其射頻應(yīng)用
80 一種基于微機(jī)電系統(tǒng)的撓曲電式微壓力傳感器
81 蝕刻嵌在玻璃中的犧牲特征來制造微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的方法
82 微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)
83 一種用于微機(jī)電系統(tǒng)的磁場(chǎng)調(diào)控的智能器件及其制備方法
84 微機(jī)電系統(tǒng)晶圓級(jí)封裝結(jié)構(gòu)及封裝方法
85 微機(jī)電系統(tǒng)器件剖面形貌分析樣品的制備方法
86 微機(jī)電系統(tǒng)
87 微機(jī)電系統(tǒng)薄片及其制備方法
88 一種用于微機(jī)電地震采集系統(tǒng)的同步系統(tǒng)與方法
89 一種自傾斜微機(jī)電系統(tǒng)微鏡的制作方法
90 一種單軸微機(jī)電系統(tǒng)陀螺儀
91 一種用于測(cè)量磁場(chǎng)方向的微機(jī)電系統(tǒng)磁場(chǎng)傳感器
92 微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)
93 具有多記錄監(jiān)控單元的微機(jī)電數(shù)字檢波器采集系統(tǒng)與方法
94 一種帶閉環(huán)控制系統(tǒng)的微機(jī)電干涉平臺(tái)
95 加強(qiáng)的微機(jī)電系統(tǒng)裝置及其制造方法
96 用于微機(jī)電系統(tǒng)MEMS設(shè)備的驅(qū)動(dòng)器及MEMS系統(tǒng)
97 微型化的集成微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)光學(xué)傳感器陣列
98 包括金屬檢驗(yàn)質(zhì)量塊和壓電組件的微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)備
99 一種單軸微機(jī)電系統(tǒng)陀螺儀
100 基于彈性基底和背面引線的微機(jī)電系統(tǒng)探針卡和制備方法
101 基于微機(jī)電系統(tǒng)的傅里葉光譜儀
102 微機(jī)電系統(tǒng)器件的封裝結(jié)構(gòu)
103 基于微機(jī)電系統(tǒng)的熱量計(jì)及有關(guān)制造和應(yīng)用
104 微機(jī)電系統(tǒng)與集成電路的集成芯片
105 包括凸點(diǎn)下金屬化層的微機(jī)電系統(tǒng)器件
106 一種微機(jī)型繼電保護(hù)測(cè)試儀智能檢測(cè)系統(tǒng)
107 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)驅(qū)動(dòng)器
108 傳感器電路和對(duì)微機(jī)電系統(tǒng)傳感器進(jìn)行測(cè)試的方法
109 傳感器電路及測(cè)試微機(jī)電系統(tǒng)傳感器的方法
110 基于微機(jī)電系統(tǒng)的傅里葉光譜儀
111 微機(jī)電系統(tǒng)裝置的氣密性密封
112 一種應(yīng)用于微機(jī)電系統(tǒng)器件的真空封裝方法
113 微機(jī)電系統(tǒng)傳感器
114 一種帶閉環(huán)控制系統(tǒng)的微機(jī)電干涉平臺(tái)及其控制方法
115 微機(jī)電伴熱系統(tǒng)
116 變壓器微機(jī)繼電保護(hù)系統(tǒng)
117 一種基于低精度微機(jī)電系統(tǒng)的捷聯(lián)慣導(dǎo)系統(tǒng)初始對(duì)準(zhǔn)方法
118 用于微機(jī)電系統(tǒng)的密封封裝
119 減小微機(jī)電系統(tǒng)上的應(yīng)力的封裝
120 一種微機(jī)電系統(tǒng)橋膜結(jié)構(gòu)殘余應(yīng)力的測(cè)試方法
121 基于微機(jī)電系統(tǒng)光譜分析的便攜式拉曼光譜儀
122 一種基于微機(jī)電系統(tǒng)的自動(dòng)對(duì)焦鏡頭
123 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)結(jié)構(gòu)和設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)
124 一種具有振蕩模塊的微機(jī)電系統(tǒng)裝置
125 微機(jī)電系統(tǒng)
126 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)電容式歐姆開關(guān)和設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)
127 基于壓電的微機(jī)電透鏡致動(dòng)系統(tǒng)
128 用于慣性微機(jī)電系統(tǒng)的抗粘合方法、對(duì)應(yīng)的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品、存儲(chǔ)構(gòu)件和裝置
129 微機(jī)電設(shè)備和電子系統(tǒng)
130 微機(jī)電系統(tǒng)器件
131 通用微機(jī)電系統(tǒng)計(jì)步器及計(jì)步方法
132 一種微機(jī)電系統(tǒng)電導(dǎo)率傳感器的接口電路
133 微機(jī)電系統(tǒng)及其制造方法
134 帶有密封環(huán)的半導(dǎo)體封裝結(jié)構(gòu)以及微機(jī)電系統(tǒng)器件
135 制備微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)的方法
136 微機(jī)電系統(tǒng)壓力傳感器及其制作方法、微機(jī)電系統(tǒng)
137 微機(jī)電系統(tǒng)壓力傳感器及其制作方法、微機(jī)電系統(tǒng)
138 一種基于微機(jī)電系統(tǒng)的微透鏡
139 一種基于微機(jī)電系統(tǒng)加速度傳感器的動(dòng)作電視遙控裝置
140 一種微機(jī)電系統(tǒng)電導(dǎo)率傳感器的接口電路
141 制造提供氣隙控制的微機(jī)電系統(tǒng)裝置的方法
142 用于微機(jī)電系統(tǒng)顯示架構(gòu)的低范圍位深度增強(qiáng)的方法及設(shè)備
143 感測(cè)旋轉(zhuǎn)及加速度兩者的微機(jī)電系統(tǒng)裝置
144 微機(jī)電系統(tǒng)雙穩(wěn)態(tài)光學(xué)開關(guān)及其使用方法
145 使用具有非平坦部分的背板保護(hù)微機(jī)電系統(tǒng)陣列的系統(tǒng)和方法
146 一種具有嵌入式織物材料防護(hù)屏的微機(jī)電系統(tǒng)傳聲器
147 微機(jī)電系統(tǒng)裝置及其制造方法
148 微機(jī)電系統(tǒng)可變電容器
149 一種基于微機(jī)電系統(tǒng)的微透鏡
150 微機(jī)電系統(tǒng)可調(diào)式光衰減器
151 一種基于微機(jī)電系統(tǒng)的自動(dòng)對(duì)焦鏡頭
152 光子微機(jī)電系統(tǒng)和結(jié)構(gòu)
153 微機(jī)電系統(tǒng)
154 平面腔體微機(jī)電系統(tǒng)及相關(guān)結(jié)構(gòu)、制造和設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的方法
155 平面腔體微機(jī)電系統(tǒng)及相關(guān)結(jié)構(gòu)、制造和設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的方法
156 微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
157 基于微機(jī)電開關(guān)(MEMS)的過電流電機(jī)保護(hù)系統(tǒng)
158 平面腔體微機(jī)電系統(tǒng)及相關(guān)結(jié)構(gòu)、制造和設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的方法
159 針對(duì)微機(jī)電集成系統(tǒng)的內(nèi)建自測(cè)試系統(tǒng)
160 平行度可調(diào)的微機(jī)電系統(tǒng)法布里珀羅腔波長(zhǎng)可調(diào)諧濾波器
161 用于微機(jī)電系統(tǒng)的化學(xué)機(jī)械研磨處理流程
162 包括微機(jī)電開關(guān)(MEMS)裝置的配電系統(tǒng)
163 用于微機(jī)電系統(tǒng)器件的半導(dǎo)體封裝體及其制造方法
164 一種基于微機(jī)電系統(tǒng)動(dòng)鏡的傅里葉變換微光譜儀
165 使用微機(jī)電系統(tǒng)裝置的壓力測(cè)量
166 微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)
167 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)裝置
168 具有間隙擋塊的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)及其制造方法
169 微機(jī)電系統(tǒng)麥克風(fēng)裝置及其制作方法
170 微機(jī)電混合陀螺儀的電路系統(tǒng)
171 雙單元微機(jī)電系統(tǒng)組件
172 微機(jī)電系統(tǒng)裝置及其制造方法
173 一種自傾斜微機(jī)電系統(tǒng)微鏡
174 多功能控制式微機(jī)直通電空制動(dòng)系統(tǒng)
175 可植入的微機(jī)電系統(tǒng)眼內(nèi)壓力傳感裝置及青光眼監(jiān)控方法
176 可植入的眼科微機(jī)電系統(tǒng)傳感裝置及眼睛外科手術(shù)方法
177 用于微機(jī)電系統(tǒng)設(shè)備的具有聲學(xué)氣道的基于引腳框的預(yù)塑模封裝
178 微機(jī)電系統(tǒng)聲壓感測(cè)元件及其制作方法
179 微機(jī)電系統(tǒng)及其制造方法
180 一種基于模糊補(bǔ)償?shù)奈C(jī)電陀螺儀模糊自適應(yīng)控制系統(tǒng)