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電子行業(yè)超純水設(shè)備(RO+EDI)
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電子行業(yè)超純水設(shè)備適用于集成電路芯片、單晶硅、顯像管、液晶顯示器、計算機(jī)硬盤、線路板等工藝所需的純水和超純水制備。在嚴(yán)格執(zhí)行ISO-9001國際質(zhì)量體系標(biāo)準(zhǔn)的前提下,采用世界上最先進(jìn)的反滲透膜元件。壓力容器和高壓泵、配以合理而又高效的前處理設(shè)備及后處理設(shè)備,使產(chǎn)品出水符合各類電子行業(yè)生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)的超純水??刂葡到y(tǒng)選用PLC程序控制,可實(shí)現(xiàn)自動起停、加藥及沖洗,自動監(jiān)測各種運(yùn)行參數(shù),并可實(shí)現(xiàn)運(yùn)行參數(shù)的儲存及打印廣泛適用于: 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路 LCD、EL、PDP、TFT、玻殼、顯像管 超純材料和超純化學(xué)試劑光導(dǎo)纖維、光盤等。
電子行業(yè)超純水設(shè)備典型工藝流程:
1.預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-純水泵-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
2.預(yù)處理系統(tǒng)-反滲透系統(tǒng)-中間水箱-粗混合床-精混合床-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象 (≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)
3.預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(最新工藝)
4.預(yù)處理-一級反滲透-加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級反滲透(正電荷反滲膜)-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線殺菌器-精密過濾器(0.2或0.5μm)-用水對象(≥17MΩ.CM) (最新工藝)
5.預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)(最新工藝)
超純水設(shè)備的應(yīng)用:
●電子工業(yè)生產(chǎn)用水,如單晶硅超純水設(shè)備、半導(dǎo)體純水處理設(shè)備、集成電路塊用水設(shè)備、IC芯片封裝用水設(shè)備、顯象管用水設(shè)備、玻殼超純水處理
●LCD液晶清洗用水設(shè)備、光學(xué)水處理,光學(xué)玻璃清洗用水設(shè)備、光電超純水設(shè)備
●熱電廠用水、冶金工業(yè)用水、化工純水設(shè)備、輕工工程用水、汽車制造清洗用水
●制藥純化水、醫(yī)療衛(wèi)生等制造工業(yè)用純水。
恒大興業(yè)