靜電卡盤電源FP6294R1
靜電
高壓電源ESC系列2電氣規(guī)格說明規(guī)格浮動雙極輸出從任何高壓輸出
端子到底盤接地的最小路徑>50MΩ輸出到輸入的隔離>500MΩ基于標(biāo)準(zhǔn)5kV直流高壓測試)
輸出電壓所有型號的輸出電壓可編程且連續(xù)可變輸出限流輸出限流可編程且所有型號上連續(xù)可變輸出穩(wěn)定性滿輸出的1%或更好輸出紋波在>35kHz工作頻率下小于0.5%輸出電壓線性在10%至100%輸出范圍內(nèi)優(yōu)于±1%輸出極性反向打開命令或可編程自動。注:ESC-HV10不包括極性反轉(zhuǎn)輸出電壓平衡匹配負(fù)載(雙極裝置)
輸出安全放電
繼電器通過100kΩ
電阻網(wǎng)絡(luò)從高壓輸出到底盤接地的命令或可編程自動打開操作環(huán)境溫度0至+40°C儲存溫度/濕度/空氣壓力0至+70°C濕度10-90%不冷凝射頻過濾射頻過濾包括在除ESCHVxx之外的所有型號上。
型號:
E-33/1
E-55/0
E-77/0
E-15/5
E-17/J
E-09/0
E-77/0
E-75/9
E-77/0
E-77/0
E-49/0
E-77/OS
E-43/0
E-15/0
E-15/4
E-17/A2