SMI
M5430
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SM5430為雙列表面貼裝(SO-16),選用高性能非補(bǔ)償芯片一次注塑成型,其價(jià)格接近于裸片,而無(wú)需外加處理器或連接線。用戶可對(duì)量程、絕壓或表壓配置、取壓方式等多種參數(shù)進(jìn)行選擇,應(yīng)用極為廣泛。
低壓系列(SM5470)采用表壓和差壓配置,選用SMI特殊的低壓芯片,在0.15psi~3psi的低壓范圍內(nèi)均具有良好的工作性能,廣泛應(yīng)用于微差壓傳感器.5470可以采用IC管或帶卷方式運(yùn)輸。
特點(diǎn)
低壓(從0-0.15psi) 易于使用 結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕 高性能、極穩(wěn)定的硅芯片 可快速嵌入OEM系統(tǒng) 低成本,可大量使用
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用途
高度計(jì) 氣壓校正儀 胎壓表 數(shù)字壓力表 環(huán)境監(jiān)測(cè) 家用電器 運(yùn)動(dòng)器械 HVAC 醫(yī)療器械和監(jiān)視器 壓差和流量檢測(cè) 手持式測(cè)量?jī)x 風(fēng)壓傳感器 微差壓傳感器
美國(guó)SMI公司的硅微結(jié)構(gòu)壓力傳感器件和傳感器晶圓;產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于汽車制造、醫(yī)療設(shè)備和工業(yè)生產(chǎn):如胎壓檢測(cè)、引擎控制、呼吸機(jī)、麻醉機(jī)、監(jiān)護(hù)儀、氧氣瓶、風(fēng)速計(jì)、血壓計(jì)、空調(diào)系統(tǒng)等相關(guān)產(chǎn)品。
美國(guó)SMI微壓傳感器的技術(shù)原理
美國(guó)Silicon Microstructures INC.開發(fā)了一系列價(jià)位低、線性度在0.3%到0.05%范圍內(nèi)的硅微結(jié)構(gòu)壓阻式傳感器,滿量程為0.15psi(1KPa)、0.3psi(2KPa)、0.8psi(5KPa)、1.5psi(10KPa)、3 psi(20KPa)、最低滿量程為0.15psi(1KPa),被列為超低壓力測(cè)量范圍。
美國(guó)SMI廉價(jià)的壓阻式、超低壓傳感器成功的關(guān)鍵是它的創(chuàng)新的物理刻蝕設(shè)計(jì)。一般來(lái)說(shuō),硅微壓力傳感器芯片采用扁平膜來(lái)測(cè)量壓力。SMI傳感器芯片采用三維膜片結(jié)構(gòu),用硅刻蝕工藝將產(chǎn)生的應(yīng)力(壓力)集中在傳感電阻處。這樣在保持總體精度和線性度的同時(shí)仍有很高的靈敏度。80%的應(yīng)力傳遞到膜片中的梁式區(qū)域,而膜片丟失的應(yīng)力只有20%。
除了壓阻器所處的四周外,膜片的所有部分都減薄,從而得到膜片的浮凸結(jié)構(gòu)。由于傳感器看起來(lái)象機(jī)械力放大器,因而便于把膜片運(yùn)動(dòng)的應(yīng)力集中在壓阻器上,增加的應(yīng)力極大地提高了信號(hào)輸出,膜片上的浮凸用做終止層。四周的薄膜有效地將器件密封起來(lái)。因此壓力不會(huì)前后移動(dòng)。此外,在器件的結(jié)構(gòu)內(nèi),離子注入電阻形成壓阻式惠斯登電橋,凹坑減少了器件的總震動(dòng)質(zhì)量。
產(chǎn)品技術(shù)原理
壓阻式:壓阻式傳感器是采用集成電路制造技術(shù)在半導(dǎo)體基片上直接生成擴(kuò)散電阻并組成電橋,半導(dǎo)體材料通常為硅材料,所以壓阻式傳感器又常稱為擴(kuò)散硅壓力傳感器。由于采用了集成電路生產(chǎn)技術(shù),這類傳感器非常適合大批量生產(chǎn),成本也很低,壓阻式傳感器面臨的主要問(wèn)題是受溫度影響較大。------SMI54系列微壓傳感器
Silicon Microstructures, Inc. (SMI) 專業(yè)生產(chǎn)各種微結(jié)構(gòu)壓力傳感器,產(chǎn)品廣泛用于汽車制造、醫(yī)療設(shè)備和工業(yè)生產(chǎn)。SMI不僅設(shè)計(jì)、生產(chǎn)各類微壓傳感器,并且提供集成化傳感器和基于 MEMS 的傳感器系統(tǒng)代工服務(wù)。
作為高性能硅壓力傳感器和加速計(jì)的專業(yè)生產(chǎn)廠家,SMI 成立于1991年。起初公司專業(yè)生產(chǎn)硅低壓傳感器,如今 SMI 已擁有眾多系列的硅微結(jié)構(gòu)傳感器,為各類 OEM 客戶提供質(zhì)優(yōu)價(jià)廉的產(chǎn)品。
2001年4月該公司被專門生產(chǎn)汽車用 ASIC 的 Elmos 半導(dǎo)體公司收購(gòu)。通過(guò)集成 Elmos 的 ASIC 技術(shù)和 SMI 的6 英寸晶圓生產(chǎn)工藝,推出高性能、系統(tǒng)化、低價(jià)位的新一代完整片上系統(tǒng)微結(jié)構(gòu)傳感器。2002年8月 SMI 收購(gòu)了 IC Sensors 的晶圓部,03年 SMI 設(shè)計(jì)出新型6英寸晶圓生產(chǎn)設(shè)備,該設(shè)備擁有先進(jìn)的深度離子刻蝕 (DRIE) 和等離子焊接能力。
氣壓系列-SM5852-003 to SM5852-030
SM5852-003 to SM5852-030
氣壓系列-SM5812-001
SM5812-001
氣壓系列-SM5812
SM5812
氣壓系列-SM5652
低壓(0-0.15 至0-100PSI) 恒壓、恒流供電方式可選 D I P 封 裝 0-60℃溫度補(bǔ)償 表壓、壓差、絕壓、測(cè)量
氣壓系列-SM5651
低壓(0-0.15 至0-100PSI) 恒壓、恒流供電方式可選 D I P 封 裝 0-60℃溫度補(bǔ)償 表壓、壓差、絕壓、測(cè)量
氣壓系列-SM5612
低壓(0-0.15 至0-100PSI) 恒壓、恒流供電方式可選 D I P 封 裝 0-60℃溫度補(bǔ)償 表壓、壓差、絕壓、測(cè)量
氣壓系列-SM5611
低壓(0-0.15 至0-100PSI) 恒壓、恒流供電方式可選 D I P 封 裝 0-60℃溫度補(bǔ)償 表壓、壓差、絕壓、測(cè)量
氣壓系列-SM5552
低壓(0-0.15PSI 至0-30PSI) 全溫度補(bǔ)償 表壓及差壓測(cè)量 恒壓供電及恒流供電可選
氣壓系列-SM5551
低壓(0-0.15PSI 至0-30PSI) 全溫度補(bǔ)償 表壓及差壓測(cè)量 恒壓供電及恒流供電可選
氣壓系列-SM5502
0-5PSI 至0-100PSI 量程范圍 全溫度補(bǔ)償 電壓電源或電流電源可選
氣壓系列-SM5501
0-5PSI 至0-100PSI 量程范圍 全溫度補(bǔ)償 電壓電源或電流電源可選
氣壓系列-SM5410
低壓(0-0.15PSI~0-100PSI) 宜于使用 結(jié)構(gòu)緊湊 低成本、高性能
氣壓系列-SM5450
低壓(0-0.15PSI~0-100PSI) 宜于使用 結(jié)構(gòu)緊湊 低成本、高性能
氣壓系列-SM5350
低壓(0-0.15PSI~0-100PSI) 宜于使用 結(jié)構(gòu)緊湊 低成本、高性能
氣壓系列-SM5310
低壓(0-0.15PSI~0-100PSI) 宜于使用 結(jié)構(gòu)緊湊 低成本、高性能
氣壓系列-SM5106(芯片)
SM5106(芯片)
氣壓系列-SM5103(芯片)
SM5103( 芯片)
氣壓系列-SM5102(芯片)
SM5102(芯片)
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