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SMI單體晶圓空氣流動監(jiān)測壓力傳感器SM5108C-150-AX(絕壓)
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， SMI單體晶圓空氣流動監(jiān)測壓力傳感器SM5108C-150-AX(絕壓)

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品牌smi型號SM5108C-150-AX

SMI單體晶圓空氣流動監(jiān)測壓力傳感器SM5108C-150-AX(絕壓)

 美國SilICon Microstructures INCI（Smi)微壓傳感器

SMI公司的硅微結(jié)構壓力傳感器件和傳感器晶圓；產(chǎn)品廣泛應用工業(yè)醫(yī)療生產(chǎn)加工儀器分析儀。

具體應用：
1.汽車制造
2.醫(yī)療設備
3.如胎壓檢測
4.引擎控制
5.呼吸機
6.麻醉機
7.監(jiān)護儀
8.氧氣瓶
9.風速計
10.血壓計
11.空調(diào)系統(tǒng)
12.空氣流動監(jiān)測
  Silicon Microstructures INC.開發(fā)了一系列價位低、線性度在0.3%到0.05%范圍內(nèi)的硅微結(jié)構壓阻式傳感器，滿量程為0.15psi(1KPa)、 0.3psi(2KPa)、0.8psi(5KPa)、1.5psi(10KPa)、3 psi(20KPa)、最低滿量程為0.15psi(1KPa)，被列為超低壓力測量范圍。
  SMI廉價的壓阻式、超低壓傳感器成功的關鍵是它的創(chuàng)新的物理刻蝕設計。一般來說,硅微壓力傳感器芯片采用扁平膜來測量壓力。SMI傳感器芯片采用三維膜 片結(jié)構,用硅刻蝕工藝將產(chǎn)生的應力(壓力)集中在傳感電阻處。這樣在保持總體精度和線性度的同時仍有很高的靈敏度。80%的應力傳遞到膜片中的梁式區(qū)域, 而膜片丟失的應力只有20%。
除了壓阻器所處的四周外，膜片的所有部分都減薄，從而得到膜片的浮凸結(jié)構。由于傳感器看起來象機械力放大器，因而便 于把膜片運動的應力集中在壓阻器上，增加的應力極大地提高了信號輸出，膜片上的浮凸用做終止層。四周的薄膜有效地將器件密封起來。因此壓力不會前后移動。 此外，在器件的結(jié)構內(nèi)，離子注入電阻形成壓阻式惠斯登電橋，凹坑減少了器件的總震動質(zhì)量。

Smi產(chǎn)品技術原理

壓阻式：壓 阻式傳感器是采用集成電路制造技術在半導體基片上直接生成擴散電阻并組成電橋，半導體材料通常為硅材料，所以壓阻式傳感器又常稱為擴散硅壓力傳感器。由于 采用了集成電路生產(chǎn)技術，這類傳感器非常適合大批量生產(chǎn)，成本也很低，壓阻式傳感器面臨的主要問題是受溫度影響較大。------SMI54系列微壓傳感 器

Silicon Microstructures, Inc. (SMI) 專業(yè)生產(chǎn)各種微結(jié)構壓力傳感器，產(chǎn)品廣泛用于汽車制造、醫(yī)療設備和工業(yè)生產(chǎn)。SMI不僅設計、生產(chǎn)各類微壓傳感器，并且提供集成化傳感器和基于 MEMS 的傳感器系統(tǒng)代工服務。

作為高性能硅壓力傳感器和加速計的專業(yè)生產(chǎn)廠家，SMI 成立于1991年。起初公司專業(yè)生產(chǎn)硅低壓傳感器，如今 SMI 已擁有眾多系列的硅微結(jié)構傳感器，為各類 OEM 客戶提供質(zhì)優(yōu)價廉的產(chǎn)品。

通 過集成 Elmos 的 ASIC 技術和 SMI 的6 英寸晶圓生產(chǎn)工藝，推出高性能、系統(tǒng)化、低價位的新一代完整片上系統(tǒng)微結(jié)構傳感器。2002年8月 SMI 收購了 IC Sensors 的晶圓部，2003年 SMI設計出新型6英寸晶圓生產(chǎn)設備，該設備擁有先進的深度離子刻蝕 (DRIE) 和等離子焊接能力。

氣壓系列-SM5852-003— SM5852-030/SM5852-003— SM5852-030
氣壓系列-SM5812-001/SM5812-001
氣壓系列-SM5812/SM5812
氣壓系列-SM5652低壓（0-0.15 至0-100PSI） 恒壓、恒流供電方式可選 （兩列直插）DIP封裝 0-60℃溫度補償 表壓、壓差、絕壓、 測量氣壓系列-SM5651低壓（0-0.15 至0-100PSI） 恒壓、恒流供電方式可選 D I P 封 裝 0-60℃溫度補償 表壓、壓差、絕壓、測量氣壓系列-SM5612低壓（0-0.15 至0-100PSI） 恒壓、恒流供電方式可選 DIP 封 裝 0-60℃溫度補償 表壓、壓差、絕壓、測量氣壓系列-SM5611低壓（0-0.15~0-100PSI） 恒壓、恒流供電方式可選 DIP 封 裝 0-60℃溫度補償 表壓、壓差、絕壓、測量
氣壓系列-SM5552低壓（0-0.15PSI至0-30PSI） 全溫度補償 表壓及差壓測量 恒壓供電及恒流供電可選
氣壓系列-SM5551低壓（0-0.15PSI 至0-30PSI）全溫度補償 表壓及差壓測量 恒壓供電及恒流供電可選
氣壓系列-SM55020-5PSI 至0-100PSI 量程范圍 全溫度補償 電壓電源或電流電源可選
氣壓系列-SM55010-5PSI 至0-100PSI 量程范圍 全溫度補償 電壓電源或電流電源可選
氣壓系列-SM5410低壓（0-0.15PSI~0-100PSI）宜于使用結(jié)構緊湊，低成本、高性能
氣壓系列-SM5450低壓（0-0.15PSI~0-100PSI）宜于使用結(jié)構緊湊，低成本、高性能
氣壓系列-SM5350低壓（0-0.15PSI~0-100PSI）宜于使用結(jié)構緊湊，低成本、高性能
氣壓系列-SM5310低壓（0-0.15PSI~0-100PSI）宜于使用，結(jié)構緊湊，低成本、高性能
氣壓系列-SM5106(芯片）SM5106(芯片）
氣壓系列-SM5103（芯片）SM5103（ 芯片）
氣壓系列-SM5102（芯片）SM5102（芯片）

SM5108C-015-AX
SM5108C-030-AX
SM5108C-060-AX
SM5108C-150-AX
SM5103-003-GX
SM5103-008-GX
SM5103-015-GX
SM5103-015-GX
SM5102-005-GX
SM5102-015-GX
SM5102-015-AX
SM5102-030-GX
SM5102-030-AX
SM5102-060-GX
SM5102-060-AX
SM5102-100-GX
SM5102-100-AX
SM9221-150-A-D
SM9221-300-A-D
SM9221-030-A-D
SM9221-060-A-D
SM5108C-015-AX
SM5108C-030-AX
SM5108C-060-AX
SM5108C-150-AX
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