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-SMI單體晶圓空引擎控制監(jiān)測壓力傳感器SM9221-300-A-D(差壓) 品牌:SMI 型號:SM9221-300-A-D-買賣IC網(wǎng)
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以下是,SMI單體晶圓空引擎控制監(jiān)測壓力傳感器SM9221-300-A-D(差壓),品牌:SMI 型號:SM9221-300-A-D
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SMI單體晶圓空引擎控制監(jiān)測壓力傳感器SM9221-300-A-D(差壓)
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,SMI單體晶圓空引擎控制監(jiān)測壓力傳感器SM9221-300-A-D(差壓)
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所 在 地: 北京 北京市其它轄區(qū) 昌平
發(fā)布日期: 2016年04月22日
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地址:北京市昌平區(qū)振興路28號綠創(chuàng)科技大廈B520室
的詳細信息
品牌
SMI
型號
SM9221-300-A-D
SMI單體晶圓空引擎控制監(jiān)測
壓力傳感器
SM9221-300-A-D(差壓)
美國SilICon Microstructures INCI
(Smi)
微壓傳感器
SMI公司的硅微結(jié)構(gòu)壓力傳感器件和傳感器晶圓;產(chǎn)品廣泛應(yīng)用工業(yè)醫(yī)療生產(chǎn)加工儀器分析儀。
具體應(yīng)用:
1.汽車制造
2.醫(yī)療設(shè)備
3.如胎壓檢測
4.引擎控制
5.呼吸機
6.麻醉機
7.監(jiān)護儀
8.氧
氣瓶
9.風(fēng)速計
10.血壓計
11.空調(diào)系統(tǒng)
12.空氣流動監(jiān)測
Silicon Microstructures INC.開發(fā)了一系列價位低、線性度在0.3%到0.05%范圍內(nèi)的硅微結(jié)構(gòu)壓阻式傳感器,滿量程為0.15psi(1KPa)、 0.3psi(2KPa)、0.8psi(5KPa)、1.5psi(10KPa)、3 psi(20KPa)、最低滿量程為0.15psi(1KPa),被列為超低壓力測量范圍。
SMI廉價的壓阻式、超低壓傳感器成功的關(guān)鍵是它的創(chuàng)新的物理刻蝕設(shè)計。一般來說,硅微壓力傳感器芯片采用扁平膜來測量壓力。SMI傳感器芯片采用三維膜 片結(jié)構(gòu),用硅刻蝕工藝將產(chǎn)生的應(yīng)力(壓力)集中在傳感
電阻
處。這樣在保持總體精度和線性度的同時仍有很高的靈敏度。80%的應(yīng)力傳遞到膜片中的梁式區(qū)域, 而膜片丟失的應(yīng)力只有20%。
除了壓阻器所處的四周外,膜片的所有部分都減薄,從而得到膜片的浮凸結(jié)構(gòu)。由于傳感器看起來象機械力
放大器
,因而便 于把膜片運動的應(yīng)力集中在壓阻器上,增加的應(yīng)力極大地提高了信號輸出,膜片上的浮凸用做終止層。四周的薄膜有效地將器件密封起來。因此壓力不會前后移動。 此外,在器件的結(jié)構(gòu)內(nèi),離子注入電阻形成壓阻式惠斯登
電橋
,凹坑減少了器件的總震動質(zhì)量。
Smi產(chǎn)品技術(shù)原理
壓阻式:
壓 阻式傳感器是采用
集成電路
制造技術(shù)在半導(dǎo)體基片上直接生成擴散電阻并組成電橋,
半導(dǎo)體材料
通常為硅材料,所以壓阻式傳感器又常稱為擴散硅壓力傳感器。由于 采用了集成電路生產(chǎn)技術(shù),這類傳感器非常適合大批量生產(chǎn),成本也很低,壓阻式傳感器面臨的主要問題是受溫度影響較大。------SMI54系列微壓傳感 器
Silicon Microstructures, Inc. (SMI) 專業(yè)生產(chǎn)各種微結(jié)構(gòu)壓力傳感器,產(chǎn)品廣泛用于汽車制造、醫(yī)療設(shè)備和工業(yè)生產(chǎn)。SMI不僅設(shè)計、生產(chǎn)各類微壓傳感器,并且提供集成化傳感器和基于 MEMS 的傳感器系統(tǒng)代工服務(wù)。
作為高性能硅壓力傳感器和加速計的專業(yè)生產(chǎn)廠家,SMI 成立于1991年。起初公司專業(yè)生產(chǎn)硅低壓傳感器,如今 SMI 已擁有眾多系列的硅微結(jié)構(gòu)傳感器,為各類 OEM 客戶提供質(zhì)優(yōu)價廉的產(chǎn)品。
通 過集成 Elmos 的 ASIC 技術(shù)和 SMI 的6 英寸晶圓生產(chǎn)工藝,推出高性能、系統(tǒng)化、低價位的新一代完整片上系統(tǒng)微結(jié)構(gòu)傳感器。2002年8月 SMI 收購了 IC Sensors 的晶圓部,2003年 SMI設(shè)計出新型6英寸晶圓生產(chǎn)設(shè)備,該設(shè)備擁有先進的深度離子刻蝕 (DRIE) 和等離子焊接能力。
氣壓系列-SM5852-003— SM5852-030/SM5852-003— SM5852-030
氣壓系列-SM5812-001/SM5812-001
氣壓系列-SM5812/SM5812
氣壓系列-SM5652低壓(0-0.15 至0-100PSI) 恒壓、恒流供電方式可選 (兩列直插)DIP封裝
0-60℃溫度補償 表壓、壓差、絕壓
、 測量氣壓系列-SM5651低壓(0-0.15 至0-100PSI) 恒壓、恒流供電方式可選 D I P 封 裝 0-60℃溫度補償 表壓、壓差、絕壓、測量氣壓系列-SM5612低壓(0-0.15 至0-100PSI) 恒壓、恒流供電方式可選 DIP 封 裝 0-60℃溫度補償 表壓、壓差、絕壓、測量氣壓系列-SM5611低壓(0-0.15~0-100PSI) 恒壓、恒流供電方式可選 DIP 封 裝 0-60℃溫度補償 表壓、壓差、絕壓、測量
氣壓系列-SM5552低壓(0-0.15PSI至0-30PSI)
全溫度補償 表壓及差壓測量 恒壓供電及恒流供電可選
氣壓系列-SM5551低壓(0-0.15PSI 至0-30PSI)
全溫度補償 表壓及差壓測量 恒壓供電及恒流供電可選
氣壓系列-SM55020-5PSI 至0-100PSI 量程范圍 全溫度補償 電壓
電源
或電流電源可選
氣壓系列-SM55010-5PSI 至0-100PSI 量程范圍 全溫度補償 電壓電源或電流電源可選
氣壓系列-SM5410低壓(0-0.15PSI~0-100PSI)宜于使用結(jié)構(gòu)緊湊,低成本、高性能
氣壓系列-SM5450低壓(0-0.15PSI~0-100PSI)
宜于使用結(jié)構(gòu)緊湊,低成本、高性能
氣壓系列-SM5350低壓(0-0.15PSI~0-100PSI)
宜于使用結(jié)構(gòu)緊湊,低成本、高性能
氣壓系列-SM5310低壓(0-0.15PSI~0-100PSI)
宜于使用,結(jié)構(gòu)緊湊,低成本、高性能
氣壓系列-SM5106(芯片)SM5106(芯片)
氣壓系列-SM5103(芯片)SM5103( 芯片)
氣壓系列-SM5102(芯片)SM5102(芯片)
SM5108C-015-AX
SM5108C-030-AX
SM5108C-060-AX
SM5108C-150-AX
SM5103-003-GX
SM5103-008-GX
SM5103-015-GX
SM5103-015-GX
SM5102-005-GX
SM5102-015-GX
SM5102-015-AX
SM5102-030-GX
SM5102-030-AX
SM5102-060-GX
SM5102-060-AX
SM5102-100-GX
SM5102-100-AX
SM9221-150-A-D
SM9221-300-A-D
SM9221-030-A-D
SM9221-060-A-D
SM5108C-015-AX
SM5108C-030-AX
SM5108C-060-AX
SM5108C-150-AX
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