ofweek工控網(wǎng)訊：歐姆龍株式會社研發(fā)了一款新型“絕對壓力傳感器”（※１），該傳感器能夠準(zhǔn)確檢測出50cm高度范圍內(nèi)的氣壓變化。絕對壓力傳感器應(yīng)用了歐姆龍核心技術(shù)之一的mems技術(shù)，實現(xiàn)了世界頂級水平的高精度和低電流消耗，將于2013年1月開始發(fā)售。
該絕對壓力傳感器，實現(xiàn)了cmos回路與mems傳感器的工藝整合，實現(xiàn)了長3.8mm×寬3.8mm、厚0.92mm的小型封裝，更易于應(yīng)用在移動電話等小型設(shè)備中。
適用于智能手機(jī)或運(yùn)動計量器（※２）等機(jī)器的電池驅(qū)動部件，有利于延長電池的壽命。將該傳感器應(yīng)用于運(yùn)動計量器上，可以測算出上下樓梯等存在高度差的運(yùn)動形式數(shù)據(jù)，解決一直以來的難題。而應(yīng)用于汽車導(dǎo)航系統(tǒng)上，可以確保在立體停車場導(dǎo)航的精準(zhǔn)度以及識別一般道路和高架路。另外，由于能測定感知房門開啟或窗戶破碎等情況下產(chǎn)生的氣壓變化，也可應(yīng)用于安保領(lǐng)域。
?。ā?）熱感傳感器，能夠通過熱點堆結(jié)構(gòu)感應(yīng)對象物所放射的能量，從而實現(xiàn)非接觸式的溫度測定。歐姆龍將應(yīng)用mems技術(shù)的熱點堆結(jié)構(gòu)與asic進(jìn)行組合，創(chuàng)造了超小型的非接觸式溫度傳感器。
?。ā?）bems、hems分為是building energy management system及home energy management system的縮寫，指應(yīng)用于建筑、辦公場所及家庭的節(jié)能、創(chuàng)能系統(tǒng)。
此外，cmos・mems一體化晶片也可銷售，旨在滿足與其他傳感器安裝在同一主板上等需求。
今后，歐姆龍將憑借獨(dú)有的mems技術(shù)持續(xù)為社會做貢獻(xiàn)。
本產(chǎn)品將于7月11日（周三）至7月15日（周五）在東京國際展覽中心舉辦的“第23屆微機(jī)械/mems展”上展出。
?。ā保┙^對壓力傳感器，指以真空為0基準(zhǔn)的壓力檢測傳感器。
?。ā玻┯袆e于普通的計步器，不僅可計量步數(shù)，也用于計量中強(qiáng)度、低強(qiáng)度運(yùn)動量及生活中的運(yùn)動量（使用于掃除機(jī)、搬運(yùn)輕量物品、烹飪等）的測量儀器。
■特點
?。保⌒头庋b：長3.8mm寬3.8mm高0.92mm。
?。玻⌒托酒篶mos回路與mems傳感器一體化，長1.9mm、寬1.9mm、厚0.5mm。
?。常?00～1100hpa的廣泛測量范圍
?。矗鄬毫冗_(dá)到相當(dāng)于約50cm高度差所造成的氣壓變化6pa。
?。担?.5~9.5ua的低電流消耗有利于延長電池壽命。（※３）
?。叮畠?nèi)含溫度傳感器，能夠輔助修正因傳感器周圍溫度變化所造成的氣壓變化。
７．采用i2c輸出方式，可串聯(lián)通信。
?。ā常┫碾娏饕蕾囉跍y定條件及動作模式。
■技術(shù)解說
?。保畽z測原理
本公司的mems絕對壓力傳感器采用了針對血壓計中壓力傳感器研發(fā)的壓敏電阻方式。壓敏電阻方式，是使用了通過加載在電阻元件上的力度變化所產(chǎn)生的電阻變化即壓電效應(yīng)，通過這一原理將壓力轉(zhuǎn)化為電流信號。
并且，為了測定大氣壓力變化，絕對壓力傳感器采用mems接合技術(shù)，將傳感器芯片的內(nèi)部進(jìn)行真空密封。因此，能夠感知與真空狀態(tài)相比較大氣壓力的數(shù)值，也就是絕對壓力值。