以下是，SMI單體晶圓空引擎控制監(jiān)測(cè)壓力傳感器SM5108C-030-AX（絕壓，21.5pa)，品牌:smi 型號(hào):SM5108C-030-AX 測(cè)量范圍:21.5KPA ，請(qǐng)點(diǎn)擊“詢價(jià)”
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SMI單體晶圓空引擎控制監(jiān)測(cè)壓力傳感器SM5108C-030-AX（絕壓，21.5pa)
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，SMI單體晶圓空引擎控制監(jiān)測(cè)壓力傳感器SM5108C-030-AX（絕壓，21.5pa)

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品牌smi型號(hào)SM5108C-030-AX
測(cè)量范圍21.5KPA  
SMI單體晶圓空引擎控制監(jiān)測(cè)壓力傳感器SM5108C-030-AX（絕壓，21.5pa)

 美國SilICon Microstructures INCI（Smi)微壓傳感器

SMI公司的硅微結(jié)構(gòu)壓力傳感器件和傳感器晶圓；產(chǎn)品廣泛應(yīng)用工業(yè)醫(yī)療生產(chǎn)加工儀器分析儀。

具體應(yīng)用：
1.汽車制造
2.醫(yī)療設(shè)備
3.如胎壓檢測(cè)
4.引擎控制
5.呼吸機(jī)
6.麻醉機(jī)
7.監(jiān)護(hù)儀
8.氧氣瓶
9.風(fēng)速計(jì)
10.血壓計(jì)
11.空調(diào)系統(tǒng)
12.空氣流動(dòng)監(jiān)測(cè)
  Silicon Microstructures INC.開發(fā)了一系列價(jià)位低、線性度在0.3%到0.05%范圍內(nèi)的硅微結(jié)構(gòu)壓阻式傳感器，滿量程為0.15psi(1KPa)、 0.3psi(2KPa)、0.8psi(5KPa)、1.5psi(10KPa)、3 psi(20KPa)、最低滿量程為0.15psi(1KPa)，被列為超低壓力測(cè)量范圍。
  SMI廉價(jià)的壓阻式、超低壓傳感器成功的關(guān)鍵是它的創(chuàng)新的物理刻蝕設(shè)計(jì)。一般來說,硅微壓力傳感器芯片采用扁平膜來測(cè)量壓力。SMI傳感器芯片采用三維膜 片結(jié)構(gòu),用硅刻蝕工藝將產(chǎn)生的應(yīng)力(壓力)集中在傳感電阻處。這樣在保持總體精度和線性度的同時(shí)仍有很高的靈敏度。80%的應(yīng)力傳遞到膜片中的梁式區(qū)域, 而膜片丟失的應(yīng)力只有20%。
除了壓阻器所處的四周外，膜片的所有部分都減薄，從而得到膜片的浮凸結(jié)構(gòu)。由于傳感器看起來象機(jī)械力放大器，因而便 于把膜片運(yùn)動(dòng)的應(yīng)力集中在壓阻器上，增加的應(yīng)力極大地提高了信號(hào)輸出，膜片上的浮凸用做終止層。四周的薄膜有效地將器件密封起來。因此壓力不會(huì)前后移動(dòng)。 此外，在器件的結(jié)構(gòu)內(nèi)，離子注入電阻形成壓阻式惠斯登電橋，凹坑減少了器件的總震動(dòng)質(zhì)量。

Smi產(chǎn)品技術(shù)原理

壓阻式：壓 阻式傳感器是采用集成電路制造技術(shù)在半導(dǎo)體基片上直接生成擴(kuò)散電阻并組成電橋，半導(dǎo)體材料通常為硅材料，所以壓阻式傳感器又常稱為擴(kuò)散硅壓力傳感器。由于 采用了集成電路生產(chǎn)技術(shù)，這類傳感器非常適合大批量生產(chǎn)，成本也很低，壓阻式傳感器面臨的主要問題是受溫度影響較大。------SMI54系列微壓傳感 器

Silicon Microstructures, Inc. (SMI) 專業(yè)生產(chǎn)各種微結(jié)構(gòu)壓力傳感器，產(chǎn)品廣泛用于汽車制造、醫(yī)療設(shè)備和工業(yè)生產(chǎn)。SMI不僅設(shè)計(jì)、生產(chǎn)各類微壓傳感器，并且提供集成化傳感器和基于 MEMS 的傳感器系統(tǒng)代工服務(wù)。

作為高性能硅壓力傳感器和加速計(jì)的專業(yè)生產(chǎn)廠家，SMI 成立于1991年。起初公司專業(yè)生產(chǎn)硅低壓傳感器，如今 SMI 已擁有眾多系列的硅微結(jié)構(gòu)傳感器，為各類 OEM 客戶提供質(zhì)優(yōu)價(jià)廉的產(chǎn)品。

通 過集成 Elmos 的 ASIC 技術(shù)和 SMI 的6 英寸晶圓生產(chǎn)工藝，推出高性能、系統(tǒng)化、低價(jià)位的新一代完整片上系統(tǒng)微結(jié)構(gòu)傳感器。2002年8月 SMI 收購了 IC Sensors 的晶圓部，2003年 SMI設(shè)計(jì)出新型6英寸晶圓生產(chǎn)設(shè)備，該設(shè)備擁有先進(jìn)的深度離子刻蝕 (DRIE) 和等離子焊接能力。

氣壓系列-SM5852-003— SM5852-030/SM5852-003— SM5852-030
氣壓系列-SM5812-001/SM5812-001
氣壓系列-SM5812/SM5812
氣壓系列-SM5652低壓（0-0.15 至0-100PSI） 恒壓、恒流供電方式可選 （兩列直插）DIP封裝 0-60℃溫度補(bǔ)償 表壓、壓差、絕壓、 測(cè)量氣壓系列-SM5651低壓（0-0.15 至0-100PSI） 恒壓、恒流供電方式可選 D I P 封 裝 0-60℃溫度補(bǔ)償 表壓、壓差、絕壓、測(cè)量氣壓系列-SM5612低壓（0-0.15 至0-100PSI） 恒壓、恒流供電方式可選 DIP 封 裝 0-60℃溫度補(bǔ)償 表壓、壓差、絕壓、測(cè)量氣壓系列-SM5611低壓（0-0.15~0-100PSI） 恒壓、恒流供電方式可選 DIP 封 裝 0-60℃溫度補(bǔ)償 表壓、壓差、絕壓、測(cè)量
氣壓系列-SM5552低壓（0-0.15PSI至0-30PSI） 全溫度補(bǔ)償 表壓及差壓測(cè)量 恒壓供電及恒流供電可選
氣壓系列-SM5551低壓（0-0.15PSI 至0-30PSI）全溫度補(bǔ)償 表壓及差壓測(cè)量 恒壓供電及恒流供電可選
氣壓系列-SM55020-5PSI 至0-100PSI 量程范圍 全溫度補(bǔ)償 電壓電源或電流電源可選
氣壓系列-SM55010-5PSI 至0-100PSI 量程范圍 全溫度補(bǔ)償 電壓電源或電流電源可選
氣壓系列-SM5410低壓（0-0.15PSI~0-100PSI）宜于使用結(jié)構(gòu)緊湊，低成本、高性能
氣壓系列-SM5450低壓（0-0.15PSI~0-100PSI）宜于使用結(jié)構(gòu)緊湊，低成本、高性能
氣壓系列-SM5350低壓（0-0.15PSI~0-100PSI）宜于使用結(jié)構(gòu)緊湊，低成本、高性能
氣壓系列-SM5310低壓（0-0.15PSI~0-100PSI）宜于使用，結(jié)構(gòu)緊湊，低成本、高性能
氣壓系列-SM5106(芯片）SM5106(芯片）
氣壓系列-SM5103（芯片）SM5103（ 芯片）
氣壓系列-SM5102（芯片）SM5102（芯片）

SM5108C-015-AX
SM5108C-030-AX
SM5108C-060-AX
SM5108C-150-AX
SM5103-003-GX
SM5103-008-GX
SM5103-015-GX
SM5103-015-GX
SM5102-005-GX
SM5102-015-GX
SM5102-015-AX
SM5102-030-GX
SM5102-030-AX
SM5102-060-GX
SM5102-060-AX
SM5102-100-GX
SM5102-100-AX
SM9221-150-A-D
SM9221-300-A-D
SM9221-030-A-D
SM9221-060-A-D
SM5108C-015-AX
SM5108C-030-AX
SM5108C-060-AX
SM5108C-150-AX
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